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儀器簡介: Struers TargetSystem專為研發(fā)和失效分析實驗室的目標(biāo)試樣制備和其它高精度的試樣制備而設(shè)計制造,系統(tǒng)精度為+-5微米。主要應(yīng)用于包括微電子元器件、分層剝離和FA等需要進行微裂紋檢查的領(lǐng)域。系統(tǒng)的各種組件(TargetMaster,全自動金相拋光研磨機,TargetDoser,金相試樣自動研磨機,TargetX,,TargetZ)可根據(jù)需要采用若干種方式隨意組合。 主要特點: - 自動制備、清洗和測量
- 已鑲/未鑲試樣的橫斷面切割與平行拋光
您的受益
TargetMaster:小型拋光機,,適用于對精度要求極高的FA實驗室。可以單獨使用,金相研磨機價格,或者與兩種測量站TargetZ和TargetX之一配合使用。TargetMaster自動拋光至目標(biāo)值,,誤差僅數(shù)微米。 TargetZ:可見(外部)目標(biāo)試樣用測量站。
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