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molbox RFM是一個(gè)輔助單元，可使用molbloc-L層流和molbloc-S聲速流元件進(jìn)行質(zhì)量流量測(cè)量。 molbloc 流量元件通過兩個(gè)壓力連接件和一根數(shù)據(jù)線連接到 molbox RFM 上。molbox RFM 從 molbloc EEPROM 讀取校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，并利用其內(nèi)置的高精度參考?jí)毫鞲衅?(RPT) 測(cè)量 molbloc 的上游壓力和下游壓力。歐姆測(cè)量系統(tǒng)讀取 molbloc 鉑電阻測(cè)溫儀的電阻，v錐流量計(jì)，然后由此計(jì)算 molbloc 溫度。利用存儲(chǔ)在 molbox RFM 內(nèi)存中的 molbloc 校準(zhǔn)數(shù)據(jù)、壓力、溫度和氣體屬性，可計(jì)算出通過 molbloc 的氣流流速。對(duì)于 molbloc-L 流量元件，在流量量程 10% FS 以下時(shí)，可以選擇微量程選項(xiàng)來提高流量測(cè)量分辨度和精確度。 molbox RFM 和 molbloc 流量元件應(yīng)用廣泛，適用于需要高精確度測(cè)量低氣流的測(cè)量、測(cè)試和校準(zhǔn)應(yīng)用。對(duì)于主要考慮結(jié)構(gòu)緊湊、量程可調(diào)性高、成本較低的應(yīng)用來說，molbox RFM 是理想之選。第二種型號(hào) molbox1+ 針對(duì)的優(yōu)先考慮不確定度的應(yīng)用。要配置質(zhì)量流量校準(zhǔn)系統(tǒng)，請(qǐng)查看隨后幾頁，選擇 molbloc 和壓力相關(guān)校準(zhǔn)，壓縮空氣流量計(jì)，以便更好的覆蓋您的流量量程和壓力狀況。molstic 安裝系統(tǒng)和 COMPASS® for molbox 流量校準(zhǔn)軟件可以幫您完善系統(tǒng)。 · 結(jié)構(gòu)緊湊 · molbloc-L 覆蓋的流量量程從 1 sccm 到 100 slm，而 molbloc-S 覆蓋的流量上限更是達(dá)到了 5000 slm · 從 20 種不同的氣體中選擇 · 利用 100:1 可調(diào)性實(shí)現(xiàn)認(rèn)證的測(cè)量不確定度 ±0.5% 讀數(shù) · 內(nèi)部閥門，可實(shí)現(xiàn)內(nèi)置的清洗、泄漏測(cè)試和自重支持 · 包括求和、取平均值、高值/低值及偏差等高級(jí)測(cè)量函數(shù) · 完善的前面板控制以及 RS232 和 IEEE-488 遠(yuǎn)程通信 · 利用可由用戶設(shè)置的參考?jí)毫蜏囟葼顟B(tài)，測(cè)量質(zhì)量和體積流量 · 流量測(cè)量技術(shù)指標(biāo) · molbox RFM 可測(cè)量通過 molbloc 流量元件的流量。molbloc-L 的流量量程、可用工作壓力和壓力差，或者 molbloc-S 的流量量程、絕壓量程，取決于所使用的 molbloc 元件和校準(zhǔn)選項(xiàng)。請(qǐng)參閱 molbloc-L 和 molbloc-S 量程表，了解校準(zhǔn)和量程詳情。
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molbloc-L 量程最高可達(dá) 3E4，可通過微量程選項(xiàng)提高在 10% FS 以下時(shí)的分辨率和精確度。對(duì)于 1E5-L molbloc，必須使用微量程選項(xiàng)才能達(dá)到技術(shù)指標(biāo)。
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· molbloc-S（所有量程） · 除了沒有微量程以外，硫酸流量計(jì)，其他技術(shù)指標(biāo)與 molbox RFM 相同。只要將 molbox RFM 連接到 molbloc-S 上，就會(huì)禁用微量程傳感器。 · 1 精確度：包含線性度、遲滯和可重復(fù)性。 · 2 預(yù)測(cè)的穩(wěn)定度：典型 molbox RFM 和 molbloc 在典型環(huán)境下使用時(shí)一年內(nèi)從零到范圍值的最大變化情況。由于穩(wěn)定度只能是一種預(yù)測(cè)，因此應(yīng)該根據(jù)經(jīng)驗(yàn)建立特定 molbox RFM 的穩(wěn)定度。 · 3 測(cè)量不確定度：molbox RFM 流量指示相對(duì)于通過 molbloc 的流量真值的最大偏差，彎管流量計(jì)，包括精確度、穩(wěn)定度和 DHI 校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)不確定度。molbloc 的測(cè)量不確定度技術(shù)指標(biāo)僅適用于使用的是 molbloc 校準(zhǔn)過的氣體的情況。所有 molbloc 都針對(duì) N2 校準(zhǔn)過。其他氣體的校準(zhǔn)是可選的。并非所有規(guī)格的 molbloc 在所有時(shí)間，對(duì)所有氣體都提供 DHI 校準(zhǔn)功能。請(qǐng)?jiān)谟嗁徢皺z查是否可用。
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