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技術文章
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    半導體工廠氣體檢測儀
    型　號：XP-703D
    品　牌：日本新宇宙
    技術指標：檢測氣體：半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等） 
    諸城半導體工廠氣體檢測儀-XP-703D-日本新宇宙
    功能描述
    檢測氣體： 半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）
    檢測原理： 熱線型半導體式
    采樣方式: 自動吸引式
    可檢測濃度：
    胂 0.2
    膦 0.3
    硼乙烷 0.1
    硅烷 0.5
    氫氣 1.0
    檢測表示： 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍
    應答速度： 10秒以內
    ，，
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